高純氧

　　高純氧是指純度≥99.995%的氧氣。其中塵埃(φ≥0.5μm)≤3.5粒/L，雜質含量N2≤10 cm3/m3，Ar≤5cm3/m3，H2O≤lcm3/m3，CO2≤0.5cm3/m3。無色無臭無味氣體。氧不可燃，但助燃。相對密度ds(21.1℃，空氣=1)1.105。氣體密度1.326kg/m3(21.1℃，101.3kPa);液體密度1141kg/m3(- 182.96℃)。 沸點- 182.96℃。熔點-218.78℃。

　　高純氧用于二氧化硅的化學氣相沉積;作為氧化源與產生高純水的反應劑;干法氧化;與四氟化碳混合，用于等離子刻蝕。氧的主要用途源于它能維持生命和助燃性質;在冶金工業中有廣泛應用。還可用于水質處理。所有的氧化反應和燃燒過程都需要氧，例如煉鋼時除硫、磷等雜質，氧和乙炔混合氣燃燒時溫度高達3500℃，用于鋼鐵的焊接和切割。玻璃制造、水泥生產、礦物焙燒、烴類加工都需要氧。液氧還用作火箭燃料，它比其他燃料更便宜。